保山hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是（shì）對於高效過濾器的一（yī）些特性還是不太了解的（de）！

比如效率為針對（duì）0.3um的（de）粒子（zǐ）其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句（jù）話的詳細意（yì）思其實並（bìng）沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方（fāng）法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以（yǐ）了（le）！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續優化自身規範和（hé）標準（zhǔn）

目（mù）前國家（jiā）上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過（guò）率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整體的（de）5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩（liǎng）張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中徑（jìng）,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其（qí）實（shí）這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實（shí）它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大（dà）顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某（mǒu）一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要（yào）至少（shǎo）做5次重複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用曲線做（zuò）出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）不可能（néng）保證為唯一（yī）粒徑粒（lì）子,從標準差而言.σ1.5為（wéi）多（duō）分散（sàn）。需要注意的（de）是這個標準差（chà）和粒徑（jìng）大小沒（méi）有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此（cǐ）91小视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求（qiú）測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的（de）所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該正好落（luò）在（zài）這（zhè）個範圍之內,而且粒徑的（de）中值（zhí）CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自（zì）由噴（pēn）射凝（níng）結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試（shì）質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散（sàn）相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就（jiù）可以作為上（shàng）下遊分別（bié）的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的（de）單分散相還是有（yǒu）各種（zhǒng）粒徑分布（bù）的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可（kě）以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進（jìn）行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收集的（de）時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試（shì）方（fāng）最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下（xià）進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選（xuǎn）根（gēn）據實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因（yīn）為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種是（shì）用於測（cè）定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候（hòu）；

另外（wài）一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能（néng）認為它什（shí）麽粒徑都能（néng）測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低（dī）MPPS的點是曲線找（zhǎo）出來的,而不（bú）是實際測出來的。規定要求測至少（shǎo）六種不同的粒徑（jìng）,通過畫（huà）曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻能用單分散相的粒（lì）子發生（shēng）器來測試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這更加說（shuō）明（míng）了是粒子分析隻（zhī）能測試出某一（yī）段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於其測試質量濃度就可以了,而（ér）對於高要求的U15以上要求用粒子計（jì）數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利（lì）的那一個（gè）數據.但是（shì）並不需要先（xiān）檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多（duō）公司使用（yòng）TFI的冷發（fā）塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因（yīn）此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法（fǎ）

對於H10以上（shàng）的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都（dōu）測.因此實（shí）際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學（xué）相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差