貴港hepa高效過濾（lǜ）器（qì）

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的高效H14，但是對於高效過（guò）濾器的一（yī）些（xiē）特性還是（shì）不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其（qí）濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器（qì）,這句（jù）話的詳細（xì）意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大（dà）部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這（zhè）個（gè）規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或（huò）者多分散相的,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的（de）粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的（de）數量權（quán）重雖（suī）然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅（jǐn）僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列（liè）,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需要對（duì）某一種濾料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測試的。需要至少做（zuò）5次重複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低（dī）點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器或者（zhě）LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出（chū）的（de）氣（qì）溶膠粒徑（jìng）不（bú）可能保證為唯一粒徑（jìng）粒子（zǐ）,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個（gè）標準差（chà）和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為（wéi）MPPS的粒（lì）徑大小在測（cè）試的時候（hòu）不是（shì）針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內（nèi）的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的（de）。出廠前需要明確（què）額定濾速是多少（shǎo）.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該正好落在這（zhè）個範（fàn）圍之內,而（ér）且粒徑的（de）中值CMD應（yīng）該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發生器可（kě）以分（fèn）為（wéi）若幹種（zhǒng）,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發（fā）出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看出他們使（shǐ）用的（de）是第一種和第（dì）二種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數（shù）量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意（yì）的是（shì）單分散相也不（bú）是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布和（hé）數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的（de）全（quán）部或者部分粒子數量即可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與（yǔ）最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或（huò）者（zhě）部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際（jì）的（de）結果（guǒ）是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範（fàn）也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選（xuǎn）一組作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的（de）光學粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇（zé）全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒（lì）子分析（xī）儀來。實際（jì）的工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子（zǐ）,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它（tā）不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候（hòu）；

另外一種（zhǒng）是用粒子計（jì）數器或者粒徑分析計數器,它（tā）既可以測粒徑也可（kě）以測數量。不過需要（yào）說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清（qīng）二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑（jìng）之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒（lì）子分析（xī）隻（zhī）能測試出（chū）某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的（de）更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵（chén）,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試（shì）質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效（xiào）比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上（shàng）的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑（jìng）的數量;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統（tǒng）計學（xué）相關（guān）知識（shí）,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準差