海口hepa高效過濾器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高（gāo）效H14，但是對於（yú）高（gāo）效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話的詳細（xì）意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一（yī）些（xiē）筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以（yǐ）了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器（qì）效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍（jun1）方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優（yōu）化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠（jiāo）下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整（zhěng）體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量（liàng）小於這個值.

因此不要（yào）認（rèn）為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠（jiāo）是單分（fèn）散相或者多（duō）分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大（dà）顆粒（lì）的粒子占有的（de）數量權重雖然（rán）小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全（quán）等同（tóng）。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某（mǒu）一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散（sàn）相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區（qū）間。最後用（yòng）曲（qǔ）線做出來最低點（diǎn）。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的（de）是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測試的時候不是（shì）針對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱（yǐn）含的條件是氣（qì）溶膠的發（fā）塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於（yú）MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若（ruò）幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移（yí）過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國（guó）的IEST可以看出（chū）他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐（ōu）盟采（cǎi）用後麵四種進行測試，更加（jiā）合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不（bú）可能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的（de）。直接把所有的粒（lì）子數量加在一起就可（kě）以作（zuò）為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布（bù）和數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的（de）全（quán）部或者部分粒子數量（liàng）即（jí）可。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是（shì）大部分廠家或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量（liàng）基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑（jì）量範（fàn）圍.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到（dào）實際的光學粒子分析儀（yí）,應該（gāi）可以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個並（bìng）且（qiě）選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分（fèn）MPPS在0.18um的（de）樣子,因此（cǐ）采用第二種分段發可（kě）以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部（bù）分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上是對多分（fèn）散粒子測試（shì）時候的分析與說明（míng）。

3:接收方法

一般有兩種（zhǒng）方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特（tè）別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測（cè）粒（lì）徑也（yě）可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子（zǐ）MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的（de）點（diǎn）是曲（qǔ）線找出來的,而不是實際測出（chū）來的。規定要求測至少六種（zhǒng）不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒（lì）子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區（qū）間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析隻（zhī）能測試（shì）出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃度就可以了,而對（duì）於高要求的U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且（qiě）直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因此要（yào）求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室（shì）要求（qiú）低（dī）了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是（shì）使用（yòng）H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的（de）就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而（ér）言就是測包含MPPS的（de）一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於（yú）現場（chǎng）測試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部都（dōu）測.因此（cǐ）實際的結果分析采用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差