昆明hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺（chǐ）寸是（shì）什（shí）麽（me）？

下麵的內容則是我自己（jǐ）以前整理的一些筆記（jì），針對高（gāo）效過濾器的一（yī）些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方（fāng）, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐（ōu）洲持續優化自身（shēn）規（guī）範和標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不低於（yú）99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的（de）5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對（duì）以上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個（gè）規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散（sàn）相（xiàng）的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子（zǐ）尺（chǐ）寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大於這（zhè）個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒（lì）子占（zhàn）有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏（lǐ）也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿（mǎn）整體（tǐ）的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個（gè）標準差和粒徑大小沒（méi）有直接關係，也（yě）就是（shì）計算結（jié）果和粒徑（jìng）沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一（yī）個區間的（de）。這（zhè）個也就是為什（shí）麽MPPS在實際現場測試（shì）的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所（suǒ）有粒（lì）子數量總和（hé）;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所（suǒ）有（yǒu）粒子總數（shù）。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠（jiāo）發（fā）生器（qì）可以分為若幹種,如熱發（fā）塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相粒（lì）徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠（jiāo）發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國的IEST可以看出（chū）他（tā）們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進（jìn）行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單分散相粒（lì）子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直（zhí）接把所有（yǒu）的粒（lì）子（zǐ）數量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布（bù）的。隻（zhī）要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事了（le）。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部（bù）分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明（míng）:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器（qì）有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量（liàng）分（fèn）段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範（fàn）圍.因此實際（jì）的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際（jì）的（de）光學粒（lì）子（zǐ）分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個（gè）分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對（duì）多分散粒子測試（shì）時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是（shì）不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出（chū）來（lái）的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了（le）是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒徑的（de）;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但（dàn）是並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其（qí）實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃（nóng）度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊（bó）鬆分布（bù）的95%置信（xìn）區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到（dào）了統計學相關（guān）知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾（jǐ）何標準差