麗江hepa高效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃（nóng）度不（bú）低於（yú）99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些（xiē）筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介（jiè）紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最（zuì）早（zǎo）的HEPA 的使（shǐ）用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後（hòu）歐（ōu）洲持續優化自身規範和（hé）標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑（jìng）,也就是（shì）所有的氣溶膠（jiāo）粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量（liàng）小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不（bú）是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於（yú）這個值.50%的粒子小於（yú）這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每次試驗均要發（fā）單[準]分散（sàn）相或者多（duō）分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散（sàn）。需要注意的是這個（gè）標準差和粒（lì）徑（jìng）大小（xiǎo）沒有直接關係（xì），也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個區間的。這個（gè）也（yě）就是（shì）為什麽MPPS在實際（jì）現場測試的時候（hòu）要求（qiú）測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和（hé）;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要明（míng）確（què）額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器（qì）

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若（ruò）幹種,如熱發（fā）塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國（guó）的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試（shì）質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題（tí）在於（yú）MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一個範圍（wéi）。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒（lì）子數（shù）量加在一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數（shù）了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是（shì）有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相（xiàng）就不是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候（hòu）要求同時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情（qíng）況下（xià）,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實際（jì）的光學粒（lì）子計數器有一個測（cè）量（liàng）精度問題（tí）。大家知道的一（yī）般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段（duàn）上任選一組（zǔ）作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的（de）光學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵任選一個並且選擇全（quán）部（bù）的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因（yīn）為大（dà）部分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此采用（yòng）第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與（yǔ）說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場（chǎng）的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可（kě）以測粒徑也可（kě）以（yǐ）測（cè）數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說（shuō）明（míng）了是粒子分析隻能測試出某一段粒（lì）徑之間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就可以（yǐ）了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計（jì）數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個（gè）數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值（zhí）。

對於（yú）現場中的（de）DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷（lěng）發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測（cè）試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是（shì）使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於（yú）測（cè）試方法上麵已經有說（shuō）明,總體而言就是測包含（hán）MPPS的一段區（qū）間粒徑的數（shù）量;

6:對（duì）測試結（jié）果的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊（bó）鬆分布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料（liào）當（dāng）中提到（dào）了統計學相關知識,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準差