六盤水hepa高效過濾器

其實很多（duō）人對於高效過濾器（qì）的了解（jiě）還是停留（liú）在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效（xiào）過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針（zhēn）對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其（qí）實並沒有多少人思考！

比如MPPS方（fāng）法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器

最早（zǎo）的（de）HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自（zì）身規範和標（biāo）準

目前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於（yú）99.95%的（de）就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當（dāng）然是在MPPS 的（de）粒（lì）徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針對以（yǐ）上（shàng）的兩（liǎng）張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣（qì）溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數（shù）量權重雖（suī）然小,但是質量權重（chóng）很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類（lèi）似，不能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某一（yī）種玻璃（lí）纖維做實驗室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相（xiàng）或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直（zhí）接關係，也就是（shì）計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此我（wǒ）們可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是（shì）針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現（xiàn）場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有（yǒu）粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前（qián）需要明確額定濾速是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含的條件是氣（qì）溶（róng）膠的（de）發塵應該正好落（luò）在這（zhè）個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發（fā）塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過（guò）濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使（shǐ）用的（de）是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個粒徑（jìng）值（zhí）。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加（jiā）起（qǐ）來（lái）作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為（wéi）上下遊分別（bié）的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單（dān）分（fèn）散相還是有各種粒（lì）徑分布（bù）的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認（rèn）為了（le）。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布（bù）和數量。需要注意（yì）的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情（qíng）況（kuàng）下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例（lì）來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部（bù）分。這是因為實際的光學粒子計數器（qì）有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是（shì）測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結（jié）果是大部分廠家（jiā）或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一（yī）組作為劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析（xī）儀,應該可（kě）以在其中三個分段（duàn）裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部（bù）的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀（yí）來（lái）。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量（liàng）濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說（shuō）過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找（zhǎo）出來的（de）,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其（qí）實找到（dào）的不是單一粒徑,而是（shì）一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要（yào）求對於其測試質量濃度（dù）就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的（de）那一個數據.但（dàn）是（shì）並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導（dǎo）致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試（shì）質量濃（nóng）度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還（hái）是（shì）使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本（běn）,而且（qiě）不可能全部都測.因此實際的結果分析采（cǎi）用了（le）泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何標準差