欽州hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的（de）了解還是停留在表（biǎo）麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於（yú）高效過濾器的一（yī）些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高（gāo）效（xiào）過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效（xiào）率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠（jiāo）下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子（zǐ）質量中徑,也（yě）就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分布當（dāng）中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多（duō）分（fèn）散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒（lì）子大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它（tā）們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類似（sì），不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同（tóng）於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是（shì）多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需（xū）要至少做5次重複試驗。每次試驗（yàn）均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用曲線做（zuò）出來最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部（bù）分的最易（yì）穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認（rèn）為MPPS的粒徑大小在測試的時候（hòu）不是針（zhēn）對某一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所（suǒ）有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般（bān）要求（qiú）收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在（zài）這個範（fàn）圍之內（nèi）,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差（chà）不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶膠發（fā）生器（qì）可以分為若幹種,如（rú）熱發（fā）塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可（kě）以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使用（yòng）的是第（dì）一種和第二種,用光度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後（hòu）麵四種進行測（cè）試，更加（jiā）合理優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考（kǎo）慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是（shì）采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是不計量（liàng）粒子分徑的。直接把所（suǒ）有的粒（lì）子數（shù）量加在一起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的（de）是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可（kě）以這麽認為了（le）。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於（yú）1.5，因此在進行測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑（jìng）分布和數（shù）量。需（xū）要注意的是在上下遊收（shōu）集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計（jì）數器有（yǒu）一（yī）個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際（jì）的結果是大部分廠（chǎng）家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的測（cè）量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的（de）測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的（de）光（guāng）學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段（duàn）裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據（jù）實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因（yīn）為大部分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此采用第二（èr）種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑（jì）量標準。

以（yǐ）上是對多分（fèn）散粒子測試時候的（de）分析（xī）與（yǔ）說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不（bú）能認為它什麽粒徑都能測（cè）,它一般隻（zhī）能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析（xī）的一清二楚. 因（yīn）此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於（yú）濾料（liào）測試（shì）的（de）最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的（de）粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法隻（zhī）能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的（de）不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計（jì）數器,並（bìng）且（qiě）直（zhí）接（jiē）讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏（lǐ）的結果已經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測（cè）試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量（liàng）;

6:對（duì）測試結果的分析

由（yóu）於現場測（cè）試的隻能是樣（yàng）本（běn）,而且（qiě）不可能全部都測.因此實（shí）際的（de）結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學（xué）相（xiàng）關知識,包（bāo）括泊鬆分（fèn）布/95%置（zhì）信區間/標（biāo）準差/幾何標準差