駐馬（mǎ）店hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如（rú）隻知（zhī）道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些（xiē）特性（xìng）還是不太了解的（de）！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美（měi）國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方（fāng）法介紹的（de）H14或者U15過濾器的（de）測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最（zuì）早的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國（guó）內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就（jiù）是（shì）H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體（tǐ）的（de）5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述（shù）
針對以上的兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量（liàng）中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中（zhōng）50%的質（zhì）量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或（huò）者多（duō）分散相的,是（shì）一（yī）個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子（zǐ）尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏（lǐ）也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效（xiào）係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲（qǔ）線做（zuò）出來（lái）最低點（diǎn）。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關係（xì），也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频（men）可以（yǐ）認為MPPS的粒徑（jìng）大小（xiǎo）在（zài）測試的時候不是針（zhēn）對某一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一（yī）個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的（de）中值CMD應（yīng）該正（zhèng）好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若（ruò）幹（gàn）種,如熱發（fā）塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分（fèn）散（sàn）相粒徑發出。

壓縮空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器（qì） 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分（fèn）散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣（qì）溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第（dì）一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根（gēn）據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒（lì）子在測試效率的時候是不（bú）計量粒子分徑的。直（zhí）接把所有的粒子數量加在一起就（jiù）可（kě）以作（zuò）為上下遊分別（bié）的（de）粒（lì）子計數了。但是這裏（lǐ）要（yào）注意的（de）是單分散相也不是（shì）真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分（fèn）散相（xiàng）就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的（de）是在上下（xià）遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可（kě）。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計（jì）數器有一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測（cè）試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作（zuò）為計量基（jī）礎（chǔ）。

根據EN1822要（yào）求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三（sān）個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接（jiē）收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的（de）是不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑（jìng）也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分散相（xiàng）的（de）粒子發生器來測試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒（lì）徑（jìng）的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於（yú）高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更（gèng）加不利的（de）那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此其實導致的（de）結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現場的測試質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項（xiàng）目而言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法（fǎ）

對於H10以（yǐ）上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此（cǐ）實際的結果分（fèn）析采（cǎi）用了（le）泊鬆分布的95%置（zhì）信區間（jiān）的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統（tǒng）計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準差