株洲hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器（qì）的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾器（qì）的一些特性還是不（bú）太了解的（de）！

比如效率（lǜ）為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己（jǐ）以前整理的一些（xiē）筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國（guó）內大（dà）部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率（lǜ）不低於99.97%為高（gāo）效（xiào）;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對（duì）以上的（de）兩張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的（de）是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或（huò）者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就（jiù）是有50%的粒子大於（yú）這個值.50%的粒子小於這個（gè）值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但是質量權重（chóng）很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同（tóng）於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某（mǒu）一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點（diǎn）。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言（yán）,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此（cǐ）91小视频可以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也（yě）就是為什麽MPPS在（zài）實（shí）際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也（yě）要說明（míng）的是不（bú）同的過濾風速下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證（zhèng）有單分散相（xiàng）粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式（shì）氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶（róng）膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測試（shì）質量濃（nóng）度比（bǐ）;而歐盟采（cǎi）用後麵四種進行（háng）測試（shì），更加合理優越（yuè）。不過（guò）問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來（lái）作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量（liàng）粒子（zǐ）分（fèn）徑的。直（zhí）接把（bǎ）所有（yǒu）的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為（wéi）上下遊分別（bié）的粒（lì）子計數（shù）了。但（dàn）是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽（me）認為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽（me）回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的（de）時候要求（qiú）同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意（yì）的是在上（shàng）下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現（xiàn）MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之（zhī）比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部（bù）分。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一個測（cè）量（liàng）精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間（jiān）。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽（me）選根據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段（duàn）發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作（zuò）為劑量標準（zhǔn）。

以上是對多分散粒子測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分（fèn）析計（jì）數器,它既可（kě）以測粒徑也可以測（cè）數（shù）量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家（jiā）想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一清二楚. 因（yīn）此（cǐ）實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至（zhì）少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實找到的不（bú）是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑（jìng）,所以這更加（jiā）說明了是粒子分析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕不是（shì）細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對於大部分（fèn）的項（xiàng）目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以（yǐ）上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且不可能全（quán）部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差