池州hepa高效過濾器

其實很多人對於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不（bú）低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方（fāng）法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容（róng）則是我自己以前整（zhěng）理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用來源於（yú）美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自身規（guī）範和標準

目前國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從（cóng）圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然（rán）是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是一（yī）個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子（zǐ）尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量（liàng）權（quán）重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需（xū）要（yào）至少做5次（cì）重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意（yì）的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒（méi）有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候（hòu）不是針對某一（yī）個粒（lì）徑的而是針對一個區間的。這個也就是（shì）為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也（yě）要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式（shì）氣溶膠發（fā）生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二種,用光度儀（yí）測（cè）試質量濃度比;而歐盟采（cǎi）用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全部（bù）加（jiā）起來作為MPPS的數量（liàng）考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範（fàn）圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不（bú）計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單分散相（xiàng）還是有各種粒（lì）徑分布的（de）。隻要（yào）標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散（sàn）相（xiàng）就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要（yào）求同時（shí）測粒（lì）子粒徑分布和數（shù）量（liàng）。需要注意的是在上下遊收（shōu）集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻（zhī）需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分（fèn）粒（lì）子數量即（jí）可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計（jì）數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終（zhōng）的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範（fàn）圍.因此實際的（de）測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個（gè）分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部（bù）分的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來（lái）。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段（duàn）發可（kě）以（yǐ）在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的（de）分析與（yǔ）說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可（kě）以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清（qīng）二楚. 因此（cǐ）實際的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的（de）點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來的（de）。規定（dìng）要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到（dào）最低（dī）點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找（zhǎo）到（dào）的不是單一（yī）粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻（zhī）能（néng）測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試（shì）質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的（de）那（nà）一個數據.但是並不需（xū）要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢（jiǎn）測（cè）,很多公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散相，因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於（yú）0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現場的測試質量（liàng）濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是（shì）合理的（de）.因為這（zhè）裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可（kě）能全部都測.因此（cǐ）實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差