惠州hepa高（gāo）效過濾器（qì）

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性（xìng）還是（shì）不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思（sī）其（qí）實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾（lǜ）器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一些筆記（jì），針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國（guó）內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以（yǐ）是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個（gè）值,50%的（de）質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是（shì）一（yī）個範圍內（nèi）的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一（yī）種玻（bō）璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿（mǎn）整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大（dà）部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一（yī）個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測試的時候不是針對某一個粒（lì）徑的而是針對一個區間的。這個也就是（shì）為什麽（me）MPPS在實際現場測（cè）試的時（shí）候（hòu）要求（qiú）測（cè）試一個區間範圍內的所有粒子數量總和（hé）;同時也要說明的是不（bú）同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含（hán）的條（tiáo）件是氣溶膠的（de）發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若（ruò）幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵（chén）,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不可能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全部（bù）加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍（wéi）的。

根（gēn）據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效（xiào）率的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子（zǐ）數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別（bié）的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相（xiàng）也不是真正的單分（fèn）散相（xiàng）還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準（zhǔn）差大（dà）於1.5，因此在進行（háng）測（cè）試（shì）的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布（bù）和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已經知（zhī）道的情（qíng）況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的全部（bù）或（huò）者部分粒子數（shù）量即可（kě）。

舉例來說明（míng）:現在（zài）EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一（yī）個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠（chǎng）家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的（de）測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以（yǐ）在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量。

考慮到（dào）實際（jì）的光學粒（lì）子（zǐ）分析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分（fèn）的（de）粒子（zǐ）。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此（cǐ）采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分（fèn）散粒子測試時候的分（fèn）析與（yǔ）說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此（cǐ）可以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另（lìng）外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量（liàng）。不過需要說（shuō）明的是不（bú）能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此（cǐ）實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經（jīng）說過了。

這是（shì）因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的（de）,而不是實際測出來（lái）的。規定要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的粒子發生器來測試。因（yīn）此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於（yú）高要（yào）求的（de）U15以上要求（qiú）用粒（lì）子計數（shù）器,並且直（zhí）接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個（gè）數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵（chén）,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其（qí）實導（dǎo）致的結果就（jiù）是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是（shì）合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的（de）高效比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的（de）就需要（yào）測試（shì）MPPS了,對於（yú）測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因（yīn）此（cǐ）實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提到（dào）了統計學相（xiàng）關知（zhī）識（shí）,包括泊鬆分布（bù）/95%置信（xìn）區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差