江西hepa高效（xiào）過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一（yī）些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美（měi）國的A級別高效過（guò）濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒（méi）有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高（gāo）效過濾器的一（yī）些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關（guān）標準（zhǔn）。其後歐（ōu）洲持續優（yōu）化自身（shēn）規範和標準

目前國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率（lǜ）不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也（yě）就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質（zhì）量（liàng）權重很（hěn）大。因此（cǐ）在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效（xiào）係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某（mǒu）一種濾料,比（bǐ）如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差（chà）而言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這個（gè）標準差和粒徑大小沒有直接關係，也（yě）就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係.因（yīn）此91小视频可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測（cè）試的時候不是針（zhēn）對某一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也就是（shì）為什（shí）麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個（gè）區（qū）間範圍內的所有粒（lì）子（zǐ）數量總和;同時也要說明的（de）是不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所隱含的條件是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分（fèn）散（sàn）相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵（chén）+DPMS 多（duō）分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看出他們使用（yòng）的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不（bú）可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒（lì）子（zǐ）數量全部加（jiā）起來作為MPPS的（de）數量（liàng）考慮（lǜ）應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根（gēn）據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時（shí）候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加在一起（qǐ）就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是（shì）這裏要注意（yì）的是（shì）單（dān）分散（sàn）相也不是真正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽（me）回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已（yǐ）經知（zhī）道的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒（lì）子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該（gāi）可以在其中三個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析（xī）與說明（míng）。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是（shì）用於測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測（cè）粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明的（de）是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒（lì）徑也能分析的一清二楚. 因此（cǐ）實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低（dī）MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測出來的（de）。規定要求測至少六種（zhǒng）不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻（zhī）能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此（cǐ）其實找到（dào）的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間（jiān）而（ér）絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的（de）測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求（qiú）的（de）U15以上（shàng）要求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要（yào）求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已（yǐ）經（jīng）有（yǒu）說明（míng）,總體（tǐ）而言就是測包（bāo）含MPPS的（de）一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了泊（bó）鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統計學相（xiàng）關知識（shí）,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差