焦作hepa高（gāo）效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於高效過（guò）濾（lǜ）器（qì）的一（yī）些特性還（hái）是不太了（le）解（jiě）的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子（zǐ）其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高（gāo）效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或（huò）者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我（wǒ）自己（jǐ）以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效（xiào）過濾器（qì）的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優（yōu）化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟（gēn）的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針對以（yǐ）上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值（zhí）,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶（róng）膠是單分散相（xiàng）或（huò）者多分散相（xiàng）的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體（tǐ）,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的（de）粒子大（dà）於這個值.50%的粒（lì）子小於（yú）這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大（dà）顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對（duì）某（mǒu）一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要注意的是這個（gè）標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關（guān）係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒（méi）有關係.因此91小视频可以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說（shuō）明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不（bú）同（tóng）的（de）。出廠前需要（yào）明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且（qiě）粒（lì）徑（jìng）的（de）中值CMD應該（gāi）正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮（suō）空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式（shì）氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移（yí）過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的（de）IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一（yī）種和第（dì）二種,用光度儀（yí）測（cè）試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值。其（qí）實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應（yīng）該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在（zài）測試效率的（de）時候是不計量（liàng）粒子分（fèn）徑的。直接把（bǎ）所有的（de）粒子數（shù）量加在（zài）一起就可以作為上（shàng）下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相（xiàng）還是有（yǒu）各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數量（liàng）。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實際的光學粒子計數器有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或（huò）者測試方最（zuì）終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下（xià）進行計量。

考慮到實際的光學粒子（zǐ）分析（xī）儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇（zé）全部的粒子或（huò）者部分的粒子。到底怎麽（me）選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用（yòng）第二（èr）種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和（hé）H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測（cè）數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此（cǐ）實際的接收粒子MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過（guò）了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不（bú）同的粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因此其實找到的不是單一（yī）粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是（shì）粒（lì）子分析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了（le）,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數（shù）器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並（bìng）不需（xū）要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的冷發（fā）塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是使用H14以（yǐ）上的高（gāo）效（xiào）比較保險。

5. EN1822測（cè）試（shì）方（fāng）法（fǎ）

對於（yú）H10以上（shàng）的就需要測試（shì）MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒（lì）徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析（xī）采用了（le）泊鬆分布的95%置信（xìn）區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到（dào）了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何（hé）標準（zhǔn）差