錦州hepa高效過濾器（qì）

其實很多（duō）人對於高效過濾器的了解（jiě）還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法（fǎ）介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準（zhǔn）。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這（zhè）當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的（de）兩（liǎng）張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶（róng）膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實（shí）它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的（de）EN1822-2009把（bǎ）以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要（yào）至少做5次重複試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低（dī）點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業（yè）角（jiǎo）度而言（yán）,氣溶膠發生（shēng）器（qì）或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際（jì）現場測試（shì）的時候要（yào）求測試一個區間範圍內（nèi）的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風（fēng）速下（xià）MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所隱含（hán）的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵（chén）應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒（lì）徑（jìng）的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏（piān）差不（bú）能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若（ruò）幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測試質量（liàng）濃度（dù）比;而歐盟（méng）采用後麵四種（zhǒng）進行測（cè）試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接（jiē）測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根（gēn）據EN1822-5的（de）說法,如（rú）果是采用（yòng）單（dān）分（fèn）散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下（xià）遊分（fèn）別的粒子計數（shù）了。但是（shì）這裏要注意的（de）是單分散相也不是真正的（de）單分散（sàn）相（xiàng）還是有各種粒徑（jìng）分（fèn）布的。隻要標準差（chà）小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相（xiàng）就不是這麽（me）回事了（le）。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行（háng）測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部（bù）或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍（wéi）的最大值與最（zuì）小（xiǎo）值之比（bǐ）為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器（qì）有一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實（shí）際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範圍.因此實際的測（cè）試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計（jì）量。

考（kǎo）慮到實際（jì）的光學粒（lì）子分析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽（me）選根據實際的（de）粒子分（fèn）析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為（wéi）大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在（zài）現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒（lì）徑都（dōu）能測,它一般隻能分段（duàn）測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分（fèn）析的一清二（èr）楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過（guò）了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不（bú）是實際測出來的。規（guī）定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更加（jiā）說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間（jiān）而絕（jué）不是（shì）細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子（zǐ）計（jì）數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致（zhì）的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果（guǒ）已（yǐ）經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於大部分的項目而言,還是使（shǐ）用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了（le）,對於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於（yú）現場測試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用（yòng）了泊鬆分布（bù）的（de）95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到（dào）了統計學相關知識,包（bāo）括泊鬆分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差