隨州hepa高效過濾（lǜ）器

其實（shí）很多人對（duì）於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器（qì）的一些（xiē）詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家（jiā）上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針對（duì）以上的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶（róng）膠粒徑分布當中（zhōng）50%的質量大於這個值,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因（yīn）此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是（shì）一個範圍內（nèi）的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於（yú）這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多（duō）分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一（yī）個值。從商（shāng）業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者（zhě）LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為（wéi）多分（fèn）散。需要注意的是這個標準差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測（cè）試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而（ér）是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個（gè）區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣（qì）溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同（tóng）凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒（lì）徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種（zhǒng）和第二種,用光度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐（ōu）盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑（jìng）值（zhí）。其實是一個範（fàn）圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計（jì）量粒子（zǐ）分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計（jì）數（shù）了。但是這裏要注意的（de）是單分散（sàn）相也不是真正的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事（shì）了。因為標準差（chà）大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量（liàng）。需要注意的是在（zài）上下遊收（shōu）集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個（gè）範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際（jì）的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是（shì）測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子（zǐ）分析儀,應該可以（yǐ）在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分（fèn）散（sàn）粒子測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測（cè）定（dìng）質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特（tè）別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分析計數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過（guò）需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出（chū）來的,而不是實際測出（chū）來的。規定（dìng）要求測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線（xiàn）的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因（yīn）此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一（yī）個數（shù）據.但是並不需要先（xiān）檢測出（chū）MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的冷（lěng）發（fā）塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的（de）要求了。因（yīn）此要求現場（chǎng）的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是（shì）使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能（néng）是樣（yàng）本,而且不可能全部都測.因此實（shí）際的結果分析采用了泊鬆分（fèn）布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標（biāo）準差/幾何標準差