天津hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停留在表麵上的，

比如隻知（zhī）道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的（de）一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話的詳細（xì）意思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容（róng）則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範（fàn）和標（biāo）準

目前國家上（shàng）通行的（de）是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大（dà）於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這（zhè）當然是在（zài）MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或（huò）者多分散相（xiàng）的（de）,是一（yī）個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是（shì）單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此（cǐ）在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做（zuò）5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒（lì）子（zǐ）,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因此91小视频可（kě）以認（rèn）為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速（sù）下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實（shí）際（jì）的MPPS測試,一（yī）般要求（qiú）收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發（fā）塵應（yīng）該正好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝（níng）結（jié） σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看出（chū）他們使用的是第一種和（hé）第二（èr）種,用光度（dù）儀測試質量濃（nóng）度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不可（kě）能直接測量（liàng）一個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來（lái）作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但（dàn）是這裏要注意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的（de）。隻要（yào）標準差小於1.5就可以（yǐ）這（zhè）麽認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一（yī）個測量精度問（wèn）題。大（dà）家知道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大（dà）部分廠家或者（zhě）測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部（bù）的粒子或者部分（fèn）的粒子（zǐ）。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此（cǐ）采用第二種（zhǒng）分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也（yě）就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是（shì）對多分散粒子（zǐ）測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時候；

另外（wài）一（yī）種是（shì）用粒子計數器（qì）或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它（tā）什（shí）麽粒徑都能測,它一（yī）般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻（zhī）能用（yòng）單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒徑的（de）;

4. IEST的（de）測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數（shù）據.但（dàn）是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相（xiàng），因此（cǐ）其實導致的（de）結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了（le）。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方（fāng）法上（shàng）麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試（shì）結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提到（dào）了（le）統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區（qū）間/標準差/幾（jǐ）何標準差