孝感hepa高效過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的高效H14，但（dàn）是對於高（gāo）效過濾器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的（de）使用（yòng）來源於美國軍方, 為（wéi）MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對（duì）於局部穿透率可以是（shì）整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對（duì）以（yǐ）上的兩（liǎng）張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑（jìng）,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒（lì）徑的0.3um的氣（qì）溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑（jìng）,也（yě）就是有50%的粒子（zǐ）大於這個值.50%的（de）粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數（shù）量權重（chóng）雖然小,但是質量權（quán）重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次（cì）重（chóng）複（fù）試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿（mǎn）整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的（de）是（shì）這（zhè）個標準差和（hé）粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有（yǒu）關係.因此91小视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試（shì）一個（gè）區間（jiān）範圍內（nèi）的（de）所有粒子數量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風速下（xià）MPPS是不同的。出廠前（qián）需要明確額定濾（lǜ）速是多（duō）少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱（yǐn）含的條件（jiàn）是氣溶（róng）膠的發塵應該正好落在這（zhè）個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若幹種,如（rú）熱發塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發（fā）出。

壓縮空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分（fèn）散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是（shì）第（dì）一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理優越（yuè）。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑（jìng）值。其實是一個範圍。很多工廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時（shí）候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直（zhí）接把所有的粒子（zǐ）數量加在一（yī）起就可以作（zuò）為上下遊分別（bié）的（de）粒子計數了。但是這（zhè）裏要注意的（de）是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分（fèn）布和（hé）數量。需要注意的是在上下（xià）遊收集的時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實際的光學粒子計（jì）數器（qì）有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的（de）結果是大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一組作為劑量範圍.因此實際的（de）測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光學粒子（zǐ）分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一（yī）個並且選擇全（quán）部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因（yīn）為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用第二種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作（zuò）為劑量標準。

以上是（shì）對多分散（sàn）粒子測試時（shí）候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是（shì）用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另（lìng）外一（yī）種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑（jìng）也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的（de）什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測出（chū）來的。規（guī）定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來（lái）測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求（qiú）了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更（gèng）加說明了是（shì）粒子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上要求（qiú）用粒子計數（shù）器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對（duì）於（yú）現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大（dà）於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就（jiù）是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測（cè）試結果的分析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差