鹽城hepa高（gāo）效（xiào）過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器（qì）的一（yī）些特性還（hái）是（shì）不太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話的（de）詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高（gāo）效過（guò）濾器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規（guī）範和標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒（lì）徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針對以上（shàng）的（de）兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大（dà）於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這（zhè）個規（guī）定要（yào）求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是（shì）有（yǒu）50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的（de）CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於（yú）EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗（yàn）室測試的。需（xū）要至少做5次重複試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區（qū）間。最後（hòu）用曲線做出來最低點（diǎn）。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的（de）粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結（jié）果和（hé）粒徑沒有關係.因此我（wǒ）們可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的（de）。這個也就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試的時候要求測（cè）試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說（shuō）明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要（yào）明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能（néng）超（chāo）過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異（yì）凝結發塵和（hé）同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散（sàn）相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試（shì）效率的時候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的（de）粒子數（shù）量加在一（yī）起就可以作（zuò）為上下遊分（fèn）別的粒子計數了（le）。但是這裏要注意的是單分散相也（yě）不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認為了。

對於多（duō）分散相就不（bú）是這麽回事（shì）了。因（yīn）為標準差大（dà）於1.5，因此在進（jìn）行測試的時候要求同（tóng）時測粒（lì）子粒徑分布和數量（liàng）。需要注意的是（shì）在上下遊收集的（de）時（shí）候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部（bù）分粒子數量即可（kě）。

舉例（lì）來說明:現在EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一（yī）般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際（jì）的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間（jiān）的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒（lì）子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上是（shì）對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於測定質量（liàng）濃度的光度計,它不能計數（shù）。因此可以用（yòng）在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過需要說明的是（shì）不（bú）能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣（yàng）的粒徑也能分（fèn）析的一清（qīng）二楚. 因此（cǐ）實際（jì）的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求（qiú）測至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的（de）方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測試。因此其（qí）實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合（hé）理（lǐ）的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項（xiàng）目而言,還（hái）是使用H14以上（shàng）的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對（duì）測試結（jié）果的分（fèn）析

由於現場測試的隻能是（shì）樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果分（fèn）析采用（yòng）了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括（kuò）泊鬆（sōng）分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何標準差