中山hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨（jìng）室（shì）要（yào）安（ān）裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器（qì）的一些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子（zǐ）的尺寸是什麽（me）？

下麵的內（nèi）容則是（shì）我自己以前整理的（de）一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一（yī）些（xiē）詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效（xiào）過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體（tǐ）效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對（duì）於局（jú）部（bù）穿透率可以是整體的5倍這當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量（liàng）大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占有的（de）數量權重雖然（rán）小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完（wán）全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不（bú）同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要（yào）對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要至少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿（mǎn）整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低（dī）點（diǎn）。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的（de）粒子（zǐ）粒（lì）徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角（jiǎo）度而言（yán）,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差（chà）而（ér）言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關（guān）係，也（yě）就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關（guān）係（xì）.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一個（gè）粒徑的而是針對一（yī）個區（qū）間的。這個也（yě）就是（shì）為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含（hán）的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的（de）IEST可以看出他們使（shǐ）用的是第一種和（hé）第二種,用光度儀測試質量濃（nóng）度（dù）比;而（ér）歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不（bú）計量（liàng）粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散（sàn）相就不是這麽回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和（hé）數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者（zhě）部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計（jì）量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試可（kě）以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實（shí）際（jì）的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在（zài）其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分（fèn）析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二（èr）種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的值（zhí）作為劑量（liàng）標準。

以（yǐ）上是對（duì）多分散粒子測試時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩（liǎng）種方法。

一種是（shì）用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它（tā）什麽粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能（néng）分（fèn）析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾（lǜ）料（liào）測試的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的粒子發生器（qì）來測試。因（yīn）此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子（zǐ）分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了（le）,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不（bú）需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使（shǐ）用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測（cè）試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊（bó）鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準（zhǔn）差