遵義hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知（zhī）道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾器的一（yī）些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細介紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化（huà）自身規範和標準

目前國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下（xià）;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因（yīn）此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是（shì）針（zhēn）對0.3um的要求.其實這（zhè）個規（guī）定（dìng）要（yào）求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是一個範（fàn）圍（wéi）內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大（dà）顆（kē）粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類（lèi）劃入高（gāo）效係列,不同（tóng）於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是（shì）需要對某一種（zhǒng）濾料（liào）,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試（shì）驗（yàn）均要發單（dān）[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒（lì）子（zǐ）,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的（de）最（zuì）易穿透的（de）粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要（yào）注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關（guān）係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個（gè）區間的。這個也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有（yǒu）粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的（de）是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於（yú）實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的（de）所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含的條件是氣（qì）溶膠的發塵（chén）應該正好落（luò）在這個範圍之內（nèi）,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生（shēng）器可（kě）以分為若幹種（zhǒng）,如熱發塵和（hé）冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生（shēng）器 單分散相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是（shì）第一種和第二種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量（liàng）一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒（lì）子分徑的（de）。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數（shù）了。但（dàn）是這裏（lǐ）要注意的（de）是單分散相也不是真正的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要（yào）標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認（rèn）為了（le）。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事（shì）了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的（de）時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分（fèn）。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果（guǒ）是（shì）大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒子（zǐ）分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多（duō）分散粒子測試時候的（de）分析與說明（míng）。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的（de）光（guāng）度計,它不能（néng）計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能（néng）認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒（lì）徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種（zhǒng）不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找（zhǎo）到最低（dī）點（diǎn）MPPS。這種方（fāng）法隻能用單（dān）分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了（le）,而對於高要求的U15以上要求用（yòng）粒（lì）子計數（shù）器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組（zǔ）中的更加不利的那一個數據（jù）.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致（zhì）的結（jié）果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是（shì）測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分（fèn）析

由於（yú）現場（chǎng）測試（shì）的隻能是樣本,而且不可（kě）能全部都測.因此（cǐ）實際的結（jié）果分析采（cǎi）用了泊（bó）鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊（bó）鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差