麗（lì）水用塵（chén）埃粒子計數（shù）器對高效過濾（lǜ）器檢測檢漏方法（fǎ）

用塵埃粒子計數（shù）器對高效過濾器檢測（cè）檢漏方法及檢測檢（jiǎn）漏標準：用大氣塵為塵源與粒（lì）子（zǐ）計數器配合，對高效過（guò）濾器作（zuò）檢漏檢查。打開風機，在離高效過（guò）濾器表麵25mm處采用塵埃粒子計數器掃描檢測，掃描（miáo）速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃（āi）粒子計（jì）數器高效過濾器檢漏方法：

潔淨度級別等於或高於100級的潔淨車間的高效過濾器安裝（zhuāng）前必須作（zuò）現場檢漏，重點是檢查過濾器有無破損漏泄等自身質量（liàng）。

所有級別的潔淨車間，都要求對其安裝好的（de）高效過濾（lǜ）器作檢漏，在現行規範沒有給出檢查數量時，可（kě）以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空氣過（guò）濾器邊框密封質（zhì）量。

高效過濾器檢漏常用（yòng）的儀器有:塵埃（āi）粒子計數器和5C氣溶膠發生器。

用於測量潔淨環境中單位體積空（kōng）氣內的塵埃粒子大小及數目，可直（zhí）接檢測潔淨度等級為十級至三十萬級的潔淨環境（jìng）。體積小、重量輕、檢測（cè）精度高、功能操作簡（jiǎn）單明了，微處理器控製，可貯存、打印測量結果，測試潔淨環（huán）境十分便利。

5C氣溶膠發生器（qì）

5C氣溶膠發生器能產生一致（zhì）的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時（shí）能提供足夠的挑戰粒子去測量高效過濾係統。

潔淨室高效過濾器粒子計數器法檢漏的一般規（guī）定

（1）被檢過濾器必須已測過風量，在（zài）設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效（xiào）過濾器上風側測定大氣塵的微粒（lì）數，以大於或等於0.5ΜM微粒為準，其濃度必（bì）須大於（yú）或等於3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高效過濾器，則以大於或等於0.1ΜM微粒為準，其濃度必須大於或等（děng）於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符合上項規定，則（zé）應引入不經過濾（lǜ）的空氣（qì），如果還達不到規定，則不宜用粒子計數器法和凝結核計數器（qì）法檢漏。

（4）檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表麵2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對被檢過（guò）濾器整個斷麵、封頭膠和安裝框架處進行掃描。